用于管式炉的涡轮分子泵
涡轮分子泵由几个高速转子之间的定子组成。 转速约为每分钟 90,000 转。 在高速下，转子现在处于粒子速度范围内，使气体能够通过泵。 当与前级真空泵结合使用时，可达到高真空范围或更高。 涡轮分子泵是高真空和超高真空应用最方便和最常用的泵。 由于其可以轻松去除重的、缓慢的颗粒，例如碳氢化合物，因此炉膛的大气纯度非常高。 Carbolite Gero 的涡轮分子泵系统由前级真空泵、惰性气体供气系统、真空计、真空闸板阀、用于快速吹扫的旁路气路、气体出口阀和安全超压阀组成。 在冷态、干净、干燥和空载的炉膛中，涡轮分子泵真空度可达到 5 x 10-5 mbar。
